晚上好,通常情况下比较难。如果你说的PDMS是二甲基硅氧烷的高分子量聚合物,它一般是在双组份含氢硅烷存在下与有机锡催化形成的三维不溶硅胶体,而SU8一般都是做蚀刻的双组份环氧树脂,应该是反过来溶解SU8容易而PDMS比较难请酌情参考。溶解SU8可以使用由二氯甲烷、苯酚、甲酸和硫酸以3:2:2:3的比例配置的环氧树脂溶解剂来处理,PDMS因为唯一常温条件下只能针对氟化物有弱点,HF或者加热条件下的浓氟化钠溶液或许有一点作用(成本允许也可以试试看做三元电池的FEC)。